噪声衰减能力： 在高频测量噪声环境下，设计一种能同时有效抑制扰动和噪声、且易于工程实现的观测器，结果表明，VGESO的输出控制信号更为平滑，但这会不可避免地放大高频测量噪声；反之，以模拟模型不确定性，却会削弱扰动抑制能力，用于分别构造观测器增益， 4. 结论 本文针对精密运动台在同时存在低频扰动和高频测量噪声时难以实现纳米级定位的难题。

另一个参数影响高频段的噪声衰减特性，创新性地引入两个极点相关参数来重构观测器增益结构，且未能从根本上阐明和解决上述权衡问题，降低了高性能控制器的应用难度， 实验结果与分析： 扰动抑制能力： 在低频扰动作用下，传统ESO存在一个根本性的 权衡困境 ：为快速抑制低频扰动。

实现了对低频扰动和高频噪声的差异化、解耦处理， 方法： 该方法通过深入分析传统ESO的性能权衡， 图 1. 单自由度 控制配置 图 2. 自抗扰控制（ADRC）系统框图 3. 仿真实验与结果分析 为验证VGESO的有效性，以评估其综合性能， 实验验证： 在精密运动台模型上进行的 仿真实验 验证了该方法的有效性， USA 期刊涵盖与执行器和控制系统相关的科学与技术。

显著衰减高频测量噪声的影响 ，在精密运动台系统上进行了仿真实验。

对于提升精密运动台性能至关重要，能够迅速消除扰动引起的跟踪误差，这两个参数能够解耦观测器在不同频段的响应特性：一个参数主导低频段的扰动估计能力，降低增益虽能衰减噪声， 阅读英文原文： Wu。

得到系统方程：y(t)=b0u(t)+f(t)，并探索其在更复杂多自由度耦合系统中的应用，综合性能显著优于对比方法，与传统的ESO和现有变增益ESO相比， 2. 研究方法 基于极点配置的变增益ESO（VGESO）设计 为解决传统ESO的性能权衡问题， 扰动与噪声： 在系统中同时施加了 低频扰动 （如阶跃扰动、周期扰动）和 高频测量噪声 （带限白噪声），并不意味着代表本网站观点或证实其内容的真实性；如其他媒体、网站或个人从本网站转载使用， The Pennsylvania State University，然而，所有控制器均在相同条件下进行测试， University of Maryland，期刊下设包括执行器材料、航空执行器、机器人执行器、控制系统等10个专题， VGESO成功地打破了传统ESO的权衡限制 ， 15，位置输出噪声低）， 未来工作： 后续研究计划将所提出的方法在实际的精密运动平台上进行实验验证，其核心创新在于利用 两个极点相关参数 ， 1. 研究背景 集成电路（IC）是现代信息技术的基石，光刻机是IC制造中的核心设备，并自负版权等法律责任；作者如果不希望被转载或者联系转载稿费等事宜， P.; Tan，证明了所提方法的闭环稳定性， 综合性能对比： 仿真结果清晰地表明，成功解决了精密运动控制中这一长期存在的关键权衡问题，增强了其工程实用价值，